在真空泵中真空泵油不只作為獲得真空的介質，并且還對機械沖突點起潤滑，冷卻和密封效果。
1、極低的蒸汽壓這是真空泵油的最重要功能，因為真空泵需求真空度到達1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的需求到達1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因而需求真空泵油的蒸發性極低．通常要用白臘基窄餾分潤滑油，對于分散真空泵，還可運用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
2、適宜的粘度杰出的粘溫特性真空體系運用泵腔內容積不斷改變而構成排氣效果，需求潤滑油應具有適宜的粘度和杰出的粘溫特性。
3、杰出的熱氧化安定性真空泵不斷向高速度發展，因為滑片和泵體的高速沖突使油溫升高，因而使油的熱和氧化效果加重。而分散泵通常處于很高的環境溫度下作業，使體系內蒸氣壓升高，真空度下降，因而需求真空泵油有杰出的熱氧化安定性。
4、杰出的抗腐蝕性與抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發作化學改變。別的，吸入空氣中通常含有水汽，導致真空泵油的乳化，故需求有杰出的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水技術運用的真空泵油的乳化更為杰出。
5、較高的閃點需求真空泵中不帶著輕質組分，避免影響油品的飽滿蒸氣壓。
6、較低的極限壓力極限壓力是真空泵油重要的運用功能指標以了解在最低真空極限壓力下真空泵的極限壓
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